Plasma deposition of amorphous silicon-based materials
- Författare
- (Edited by Giovanni Bruno, Pio Capezzuto, Arun Madan.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Academic Press | cop. 1995 | USA, Boston | ix, 324 sidor. ill. |